上海微電子的光刻機誕生之路

上海微電子裝備有限公司（SMEE）通過十七年的“臥薪嘗膽”，持續(xù)攻關(guān)，基本掌握了高端光刻機的集成技術(shù)，并部分掌握了核心部件的制造技術(shù)，實現(xiàn)了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想。其發(fā)展過程，為我國突破尖端科技并有效將研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化結(jié)合提供了諸多可借鑒的經(jīng)驗。

其一，用產(chǎn)品化、工程化思想來進(jìn)行產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新。針對高端光刻機開發(fā)周期長，難度高的特點，SMEE根據(jù)市場需求，在不斷瞄準(zhǔn)高科技發(fā)展的同時，不斷把掌握的技術(shù)輻射為具有應(yīng)用前景又能為國民經(jīng)濟(jì)、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供很好技術(shù)支撐的產(chǎn)品，這樣兩個目標(biāo)形成一種互動、良性循環(huán)。

其二，堅持系統(tǒng)工程管理的思想和方法。光刻機是一個由幾萬個精密零件、幾百個執(zhí)行器傳感器、千萬行代碼組成的超復(fù)雜思維系統(tǒng)，要制造出光刻機，不僅僅需要科學(xué)技術(shù)上的攻關(guān)突破，還需要將大量的技術(shù)集成起來。因此，SMEE努力學(xué)習(xí)并借鑒世界上大型復(fù)雜工程項目的管理案例，始終不渝地堅持推進(jìn)用系統(tǒng)工程管理思想和方法來組織推進(jìn)光刻機項目實施。

其三，堅持全球化、國際化的創(chuàng)新思維。由于光刻機生產(chǎn)集成的供應(yīng)鏈非常復(fù)雜，我國整個技術(shù)門類還不健全，資源鏈也不完善，所以在光刻機的研發(fā)過程中，除了自主創(chuàng)新，還需要面向全球整合資源。SMEE正是充分利用了我國不斷擴(kuò)大開放的發(fā)展條件，吸引了全球高科技人才、組織，利用國際資源解決自身瓶頸，有力推動了光刻機的研發(fā)進(jìn)程。

光刻機夢想的實現(xiàn)離不開上海微電子人十幾年來不懈的努力和創(chuàng)新，也離不開正確的思想指導(dǎo)和方法實踐。上海微電子產(chǎn)研互動、系統(tǒng)管理與開放創(chuàng)新的思路與方法將不斷助力我國制造業(yè)突破尖端科技之路。

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上海微電子：國產(chǎn)光刻機孵出中國芯 登上智能制造業(yè)珠峰